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电子级乙二胺四甲叉膦酸EDTMPA

一、性能与用途

电子级EDTMPA为白色结晶性粉末,具有很强的金属离子螯合能力,在半导体加工的研磨、抛光、蚀刻等工艺,可以提高研磨效率和光洁度,在显示面板、PCB板蚀刻加工过程中使用可以减少毛刺,提高铜箔表面光洁度

二、技术指标

项  目 指  标
外 观 白色结晶性粉末
活性(以EDTMPA计)/% ≥96.0
单金属离子/ppb <10ppb(可根据客户需求定制)

三、包装与贮存

电子级EDTMPA采用电子级复合塑编袋包装或符合出口环保要求的包装,每袋净重25kg,可根据客户需求定制。贮存于室内阴凉处,贮存期十二个月。

四、安全与防护

电子级EDTMPA为酸性固体,操作时注意劳动保护,应避免与皮肤、眼睛等接触,接触后应立即用大量清水冲洗。

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