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电子级羟基乙叉二膦酸(HEDP)

一、性能与用途

电子级HEDP为电子级高纯产品,具有很强的金属离子螯合能力,在半导体加工的研磨、抛光、蚀刻等工艺,可以提高研磨效率和光洁度,在显示面板、PCB板蚀刻加工过程中使用可以减少毛刺,提高铜箔表面光洁度。

二、技术指标

项  目 指  标
外 观 无色透明液体
活性(以HEDP计)/% ≥60.0
单金属离子/ppb <10ppb(可根据客户需求定制)

三、包装与贮存

电子级HEDP液体用电子级塑料桶包装,每桶25kg或200kg,可根据客户需求定制。贮存于室内阴凉通风处,贮存期十二个月。

四、安全与防护

电子级HEDP为酸性,操作时注意劳动防护,应避免与皮肤、眼睛等接触,接触后应立即用大量清水冲洗。

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